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以Si为例,CZ、FZ晶体生长技术有何异同?
来源:学生作业帮 编辑:
作业帮
分类:
综合作业
时间:2024/08/29 01:31:33
以Si为例,CZ、FZ晶体生长技术有何异同?
CZ是直拉法,就是首先把多晶硅置于坩埚内加热熔化,然后采用小的结晶“种子”——籽晶,再慢慢向上提升、结晶,获得大的单晶锭.
FZ是水平区域熔化生长法,就是水平放置、采用感应线圈加热、并进行晶体生长的技术.
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