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什么是深次微米
来源:学生作业帮 编辑:
作业帮
分类:
综合作业
时间:2024/08/27 17:48:36
什么是深次微米
集成电路通常把0.8—0.35 m称为亚微米,0.25 m及其以下称为深亚微米,0.05 m及其以下称为纳米级.深亚微米制造的关键技术主要包括紫外光刻技术、等离子
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