作业帮等离子体辅助化学气相沉积pevcd基片上加负偏压为什么效果不好,磁控设备用都可以.为什么.哪位大侠帮个忙
来源：学生作业帮 编辑：作业帮 分类：综合作业 时间：2024/08/29 18:31:07
等离子体辅助化学气相沉积pevcd基片上加负偏压为什么效果不好,磁控设备用都可以.为什么.哪位大侠帮个忙
我只加了氩气，辉光就不正常，等离子区向下，不加偏压，基片接地才能正常起辉。什么原因
我只加了氩气，辉光就不正常，等离子区向下，不加偏压，基片接地才能正常起辉。什么原因
你放电装置出现的问题在于：
采用了DC放电,需要电流回路.
DC放电的高压电极为负压,当基片加置负偏压时,DC电源（用于放电那个）不同通过基片分支放电,由此出现你所说的不能起辉.
你这种放电方式可以实现所谓的不等位辉光放电（太原工学院,徐重教授专利）,实际上是变形的空心阴极放电,可以实现高放电电流工作.
你目前没有获得这种有益效应,可以如下尝试：
（1）先启动DC放电并保持偏压电源输出（偏压电源是否对地输出?）为零,达到放电最高功率后,再开启偏压电源；
（2）控制装置地,用绝缘物覆盖靠近电极附近的金属腔体,使放电回路向下延伸；
（3）提高偏压电源输出电压、功率,电压绝对值低于DC放电电压,二者形成不等位的空心阴极放电.
采用了DC放电,需要电流回路.
DC放电的高压电极为负压,当基片加置负偏压时,DC电源（用于放电那个）不同通过基片分支放电,由此出现你所说的不能起辉.
你这种放电方式可以实现所谓的不等位辉光放电（太原工学院,徐重教授专利）,实际上是变形的空心阴极放电,可以实现高放电电流工作.
你目前没有获得这种有益效应,可以如下尝试：
（1）先启动DC放电并保持偏压电源输出（偏压电源是否对地输出?）为零,达到放电最高功率后,再开启偏压电源；
（2）控制装置地,用绝缘物覆盖靠近电极附近的金属腔体,使放电回路向下延伸；
（3）提高偏压电源输出电压、功率,电压绝对值低于DC放电电压,二者形成不等位的空心阴极放电.