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集成电路工艺主要分为哪几类
来源:学生作业帮 编辑:
作业帮
分类:
综合作业
时间:2024/08/31 08:21:17
集成电路工艺主要分为哪几类
每一类包括哪些主要工艺,简述各工艺的主要作用,
简述光刻的工艺过程
光刻的工艺过程如下:
1) 打底膜(HMDS粘附促进剂),2)涂光刻胶,3) 前烘,4)对版 曝光,5)显影,6)坚膜,7)刻蚀:采用干法刻蚀(Dry Etching),8)去胶:化学方法及干法去胶.
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