真空泵的选择我想获得10-2到10-3Pa的压强,应该选用何种真空泵的组合啊?最好不要会造成真空室油污染的泵.最好给一个

来源：学生作业帮编辑：作业帮分类：物理作业时间：2024/11/08 03:45:15

真空泵的选择
我想获得10-2到10-3Pa的压强,应该选用何种真空泵的组合啊?最好不要会造成真空室油污染的泵.最好给一个简易连接图,

便宜的用旋片式真空泵串接扩散泵即可.
泵的抽速选择,由真空室大小以及极限真空确定.
一般是两台旋片式真空泵+一台扩散泵组成.
一台旋片式真空泵直抽真空室,另一台抽扩散泵.
当真空室到5Pa以下,并且扩散泵预热后,
切换到扩散泵抽真空室.因为扩散泵有冷阱,所以泵油不会污染真空室.
假如有钱,就用分子泵代替扩散泵.不用预热.
并且彻底无油.
再问：想再问下抽速与真空室大小以及极限真空的具体关系是什么？还有就是当旋片和扩散泵串联在一起时的抽速是算它们的和吗？
再答：真空室大，极限真空要求高，就需要大抽率的泵。比如直径1000，高度1000的真空室，用两台D60 的莱宝真空泵加一台K400的扩散泵即可有理想的效果泵串联后抽速是按低的指标算
再问：我的真空室的尺寸是200*200*300，用什么泵好点呢？
再答：用`30m3/h的旋片泵2台+口径200的小扩散泵即可。

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