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电容式传感器可以测薄膜的厚度吗?
来源:学生作业帮 编辑:
作业帮
分类:
综合作业
时间:2024/08/31 15:39:29
电容式传感器可以测薄膜的厚度吗?
可以的.
电容传感器分为单极性和双极性的.单极性例如ZCS1100,需要有一个平整的背板,将薄膜放在传感器探头与背板之间来测薄膜厚度.
双极性例如ZNXsensor,有正负两个电容极片,将薄膜放在两个极片之间来测厚度.
但是具体的测量方式还需要非常多的详细步骤.
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