pecvd有哪几种设备?

来源：学生作业帮编辑：作业帮分类：综合作业时间：2024/11/09 03:50:57

pecvd有哪几种设备?

按等离子体激发电源区分,有射频电源（RF-PECVD）、甚高频电源（VHF-PECVD）、电子回旋共振（ECR-PECVD）、线性微波（LM-PECVD）等.按电源偶合结构区分,有电容偶合（传统PECVD）、电感偶合（ICP-PECVD）、表面波偶合（ECR-PECVD）、同轴天线偶合（LM-PECVD）等.按样品安放结构区分,有管式PECVD和平板式PECVD等.

请问薄膜太阳能电池用的镀膜（PECVD）设备是什么? PECVD石墨框有几种规格 PECVD等离子化学气象沉积原理是什么? 二次加压设备有哪几种? 香菇灭菌设备有哪几种设备谁知道"等离子体辅助化学气相沉积（PECVD)英文全称是什么? 关于光伏太阳能电池部PECVD工序,如何才能有效控制碎片率,注意哪些细节方面请问你没们PECVD的操作步骤,和上面英文的意思金属破碎机设备的机型有哪几种? 中崛的无塔供水设备有哪几种给水方式? 空气滤清器设备