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油扩散泵为什么要和机械泵连用

来源:学生作业帮 编辑:作业帮 分类:综合作业 时间:2024/07/08 20:12:48
油扩散泵为什么要和机械泵连用
你好,我是物理系的学生 ,来试着帮你回答一下,希望对你有帮助.
首先,油扩散泵里的气体压强不能超过1帕,高于1帕会加速油的氧化,所以需要排气来满足油扩散泵的工作环境.
其次,有扩散泵不能自己独立将气体排出,所以需要与机械泵连用(相当于前级), 借助机械泵把气体抽走.