作业帮多晶硅还原炉如何清洗Si,除了热碱液和高压水清洗还有其他方法吗?有干法清洗吗?
来源：学生作业帮 编辑：作业帮 分类：综合作业 时间：2024/07/08 02:14:31
多晶硅还原炉如何清洗Si,除了热碱液和高压水清洗还有其他方法吗?有干法清洗吗?
还有酸,我做过这个项目.因为是保密项目,所以只能告诉你酸
再问： 有用干法的吗？比如用NF3等离子体，类似PECVD的洗涤方法。用液体洗涤总是感觉不是很好，无法实现在线清洗
再答： 多晶硅还原炉，我接触的是高有3米，直径有2.5米左右。这样大容积的还原炉，用等离子体轰击，不好实现。而且还要在线清洗，行不通，还原炉在进行着氢气还原三氯氢硅的反应，硅芯棒都在生长，你要实现在线清洗，又要通入啥气体？ 我表示无解。我只能做到生长完一炉，断电断水，移出还原炉进行清洗。
再问： 不好意思，像你这么一个清洗系统要多少价格，像你这么洗一次需要多少支出。我说的那个方法其实不是在线清洗，也是反应完后清洗，只是不用把炉子钟罩移来移去，前期的建设成本其实可以降低点的，你是否同意我这个观点呢
再答： 嗯，简单地跟你说下，我这是酸洗后+机械打磨。
再问： 有用干法的吗？比如用NF3等离子体，类似PECVD的洗涤方法。用液体洗涤总是感觉不是很好，无法实现在线清洗
再答： 多晶硅还原炉，我接触的是高有3米，直径有2.5米左右。这样大容积的还原炉，用等离子体轰击，不好实现。而且还要在线清洗，行不通，还原炉在进行着氢气还原三氯氢硅的反应，硅芯棒都在生长，你要实现在线清洗，又要通入啥气体？ 我表示无解。我只能做到生长完一炉，断电断水，移出还原炉进行清洗。
再问： 不好意思，像你这么一个清洗系统要多少价格，像你这么洗一次需要多少支出。我说的那个方法其实不是在线清洗，也是反应完后清洗，只是不用把炉子钟罩移来移去，前期的建设成本其实可以降低点的，你是否同意我这个观点呢
再答： 嗯，简单地跟你说下，我这是酸洗后+机械打磨。