来源：学生作业帮 编辑：作业帮 分类：综合作业 时间：2024/09/13 22:34:47
SiO2,Si3N4,Si,多晶硅在集成电路中的性能及扮演的角色分别是什么?
1.绝大多数集成电路都是用半导体硅Si作为起始材料
2.SiO2有两个突出的用途.它的绝缘性可以作为保护膜使p-n结免受周围环境杂质的污染.此外,可以用作稳定的、高温掩模材料,能选择性阻挡施主或受主杂质进入不希望掺杂的硅片中.
3.对于绝缘隔离层,通常采用SiO2和Si3N4 .
4.掺氧的多晶硅薄膜也可用作相邻导电层间的隔离层
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