怎样提高扩散泵机组真空度

来源：学生作业帮编辑：作业帮分类：综合作业时间：2024/07/15 06:17:24

怎样提高扩散泵机组真空度

先确定你用的泵组的抽气量和真空度是否符合使用条件,即在你使用的真空度下泵组是否有足够的抽速.第二是所抽空间检查产气源,即从外界漏进来的空气、系统内液体挥发产生的气量等加起来是不否已经超过抽速.第三是检查机组前级泵的能力是否与扩散泵匹配,第四是检查泵油是否已受到低沸点液体污染.

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