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怎么控制真空室内真空度?

来源:学生作业帮 编辑:作业帮 分类:综合作业 时间:2024/09/01 16:45:08
怎么控制真空室内真空度?
真空室内有一个可变的漏气流量,我用真空泵来抽,怎么才能保证真空室内真空度恒定,如我要100Pa的真空度,漏进去的就要=抽出去的,当做实验要在10Pa,20Pa,等,但怎么才能保证,因为真空度抽速是一定的?
/>需要在可变漏气流量处安装调节阀(最好是比例式调节阀),此调节阀的导通量由真空计控制.当实测真空度大于设定值时,调节阀的导通量减小.小于设定值时,调节阀的导通量加大.

需要注意的是调节阀与真空室的密封问题.