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磁控溅射镀膜设备的工作原理?磁控溅射镀膜设备的真空度不够会有哪些影响?
来源:学生作业帮 编辑:
作业帮
分类:
综合作业
时间:2024/10/04 18:15:40
磁控溅射镀膜设备的工作原理?磁控溅射镀膜设备的真空度不够会有哪些影响?
如何控制磁控溅射镀膜的厚度?此厚度与电流和电压的关系是什么?
能不能自己找本书?例如《薄膜物理》,或者《半导体器件物理基础》之类的,里面讲的很详细
再问: 那真空度不够会对镀膜有哪些影响?
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急.磁控溅射镀膜机的工作原理,有谁知道啊?
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