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水平式连续镀膜设备(PVD)水循环系统 要给什么设备冷却 ,比如 靶材 还有其他的哪些呀 .
来源:学生作业帮 编辑:
作业帮
分类:
综合作业
时间:2024/07/14 01:20:21
水平式连续镀膜设备(PVD)水循环系统 要给什么设备冷却 ,比如 靶材 还有其他的哪些呀 .
@jadezyk
冷阱,靶材,腔体的外围,回转发热结构的冷却,真空泵
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