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半导体硅片匀胶的作用是什么
来源:学生作业帮 编辑:
作业帮
分类:
物理作业
时间:2024/07/09 00:52:42
半导体硅片匀胶的作用是什么
匀胶的作用主要是讲光刻胶涂平,利用高速旋转的离心力.
匀胶的时候你可以看到滴到Wafer上的一滴液体(匀胶后会高温处理,蒸发掉其中水分,定型,说是固体,其实还是比较软的,后面plasma ETCH之前一般会有一步UVbake,进行加固)由中心向外侧扩散,一圈一圈的,直至完全变平.
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