半导体中晶圆切割去离子水的作用是什么

来源：学生作业帮编辑：作业帮分类：化学作业时间：2024/11/08 14:25:29

半导体中晶圆切割去离子水的作用是什么

1 因为切割过程中会产生热量,使用去离子水进行冷却；
2 切割中会产生一些粉尘和碎屑,切得过程中要一直使用水来冲洗刀片.
使用去离子水是防止水中的可移动离子,比如Na\Cl之类对Wafer造成污染,影响后续的工艺.

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