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真空计问题我用的磁控溅射仪,真空度只能到达-4 ,可是昨天真空计显示了-5 ,怎么回事这是·~~急

来源:学生作业帮 编辑:作业帮 分类:综合作业 时间:2024/11/08 20:42:10
真空计问题
我用的磁控溅射仪,真空度只能到达-4 ,可是昨天真空计显示了-5 ,怎么回事这是·~~急
有可能是电离规的灯丝断了.你看一下电离规工作时灯丝还亮不亮?