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磁控溅射氩气对电流影响
来源:学生作业帮 编辑:
作业帮
分类:
综合作业
时间:2024/07/18 01:12:56
磁控溅射氩气对电流影响
氩气量是如何影响电流的,请从微观方面介绍一下!
粗略的理
氩气量越多,真空度越低,真空室内的等离子体密度就越大,当然电子也就越多,所以电流也就越大.
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