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半导体工业中 尾气吸收,如HF ,HCl,SO2 等

来源:学生作业帮 编辑:作业帮 分类:化学作业 时间:2024/10/04 14:47:47
半导体工业中 尾气吸收,如HF ,HCl,SO2 等
如题,听说国内的半导体工厂在制造过程中都会有有毒气体产生,比如氯化氢,氟化氢,二氧化硫等.
工厂都有什么措施来吸收这些有毒气体呢
还是都是直接排放到空气中吗?
有没有用到活性炭 吸附的呢?
我觉得国内的环境执法很差劲,所以他们未必会处理.
但是,即使处理,也不可能是用活性炭处理,貌似活性炭吸附不了多少这些小分子气体吧?自来水生产过程会用到活性炭,但是其中的有色物质、产生臭味臭味的物质其分子相对来说都是分子量比较大的.
我觉得用碱液吸收的可能性更大——考虑到成本问题,我觉得不大可能是用楼下所说的氢氧化钠溶液,而可能是用成本相对便宜的石灰乳 (有效成分是氢氧化钙).
至于你说什么“从化学角度讲一半的碱就可以中和”我都不知道你在说什么,看来你不是化学的门外汉,就是仅仅懂得一点皮毛.
ps:我不是半导体行业的,是高中化学教师,但感觉我的回答可能还是站得住脚的.
再问: 老师,你好! 从成本上考虑用氢氧化钙是对的. 不过用活性炭吸附,并不是单纯只有活性炭,也不是常规的水处理用的活性炭,这种活性炭是添加了Cu,Zn氧化物(包括但不限于氧化物)等药品的,物理吸附和化学吸附在生产中同气体反应络合,增大吸附效果. 只是这种炭比较贵而已.工厂不一定舍得自用. 我想知道的是实际生产中的工厂是怎么处理这些废气的. 理论上解决方法很多,但实际怎么样呢?