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直流磁控溅射问题用ZO掺Al靶材,溅射时偶尔有打火,最重要的是电压开始只能调到500v,电流大概200mA,随着溅射时间

来源:学生作业帮 编辑:作业帮 分类:综合作业 时间:2024/07/08 16:31:52
直流磁控溅射问题
用ZO掺Al靶材,溅射时偶尔有打火,最重要的是电压开始只能调到500v,电流大概200mA,随着溅射时间,电压一直升高,到800V时电压不动,电流开始降低,辉光愈来愈弱,整个过程不到十分钟,放另一块同类靶材可以做的时间长一点,但是不知道什么原因会这样漂,而且电流最大只能200mA,如何提高电流?
虽然不知道你说的ZO是什么材料,从你描述的现象里看应该是靶中毒.明显你的靶材导电性不好,另一块靶材可能掺Al更加均匀,所以溅射时间长一些.
直流磁控溅射问题用ZO掺Al靶材,溅射时偶尔有打火,最重要的是电压开始只能调到500v,电流大概200mA,随着溅射时间 磁控溅射Cu的时候,基底温度大概有多少度?要是溅射铝呢?能不能在塑料上溅射铜呢? 真空磁控溅射ITO的最佳靶基距,硅靶中频反应溅射SIO2的最佳靶基距. 为什么用直流稳压稳流电源给锂电池充电电压会变化,调到16.8V充电时降到15.4V随着充电的增加,输出在上升 我有直流稳压电源,现在想用数字万用表测量它显示3V时的实际输出电压,和电流为300ma时的实际输出电流.理论上,是电压并 用于平板玻璃镀膜的溅射沉积真空工艺有那些? 直流稳压电源设计…… 要求:输入电压18V,输出电压是6~12V可调,额定输出电流100mA,最大输出电流200mA, 氨水进入眼睛后的危害我有一同事,晚上工作时被氨水溅射到眼睛里面,当时用清水冲了一下,但冲洗时间不够长.感觉很痛就没冲了, 真空溅射镀膜机镀铝靶我的真空溅射镀膜机镀Ag时正常,用兆欧表测绝缘电阻为0.1兆欧.换铝靶后,绝缘电阻为0.3兆欧,功率 升压芯片5V帮我推荐一款升压芯片,直流输入电压大约在3.7V 要求输出电压5V电流500MA左右 ,输入端我是用的手机电 镍氢电池充电问题我有一个输出电压为4.2V,输出电流为250mA和一个输出电压为5V,输出电流为500mA的手机充电器, 真空溅射镀膜透光率总是不均匀,一般都是上高下低,换了一套新的磁铁还是老样子.我们怀疑是不是抽气这方面有问题.