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no conductive coating （绝缘 镀膜）

来源：学生作业帮 编辑：作业帮 分类：物理作业 时间：2024/10/06 20:08:32
no conductive coating （绝缘 镀膜）
就是磁控溅射镀膜的工作原理,谢谢
即NC VM 的工艺，和靶材的材料，所用的气体，和NCVM磁控薄膜沉积原理
磁控溅射原理：电子在电场的作用下加速飞向基片的过程中与氩原子发生碰撞,电离出大量的氩离子和电子,电子飞向基片.氩离子在电场的作用下加速轰击靶材,溅射出大量的靶材原子,靶原子（或分子）沉积在基片上成膜.二次电子在加速飞向基片的过程中受到磁场洛仑磁力的影响,被束缚在靠近靶面的等离子体区域内,二次电子在磁场的作用下围绕靶面作圆周运动,在运动过程中不断的与氩原子发生碰撞电离出大量的氩离子轰击靶材,经过多次碰撞后电子的能量逐渐降低,摆脱磁力线的束缚,远离靶材.
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