作业帮等离子发生器的具体电路
来源：学生作业帮 编辑：作业帮 分类：综合作业 时间：2024/11/05 20:44:19
等离子发生器的具体电路
射频电源+匹配器+真空腔室,这一套下来怎么说也要几万吧,自己做电路太费时了
射频电源需要一个直流开关电源,一个射频功率发生器或者射频信号发生器和射频功率放大器
关键的部分是射频功率放大器,可以在百度上搜"乌龟 BA7KW",参考一下
匹配器根据腔室而定,大致上是两个可调电容,一个电感.这些元件的耐压要在几十KV,电流要达到几十A.
真空腔室需要精密加工,配合机械泵、分子泵抽成真空,充入稀薄惰性气体.射频信号通过平行板电容方式(CCP)或腔室外围的线圈(ICP)耦合至腔室,将里面的稀薄气体电离,从而产生等离子体.
如果,觉得这个太麻烦或者成本太高,给你几个简单的方法：
打火机一只,点燃,产生的火焰就是等离子体
日光灯一只,点亮,里面会产生等离子体
射频电源需要一个直流开关电源,一个射频功率发生器或者射频信号发生器和射频功率放大器
关键的部分是射频功率放大器,可以在百度上搜"乌龟 BA7KW",参考一下
匹配器根据腔室而定,大致上是两个可调电容,一个电感.这些元件的耐压要在几十KV,电流要达到几十A.
真空腔室需要精密加工,配合机械泵、分子泵抽成真空,充入稀薄惰性气体.射频信号通过平行板电容方式(CCP)或腔室外围的线圈(ICP)耦合至腔室,将里面的稀薄气体电离,从而产生等离子体.
如果,觉得这个太麻烦或者成本太高,给你几个简单的方法：
打火机一只,点燃,产生的火焰就是等离子体
日光灯一只,点亮,里面会产生等离子体