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镀膜机抽高真空抽不下去,不漏气,扩散泵刚换的油,是哪里的问题,

来源:学生作业帮 编辑:作业帮 分类:综合作业 时间:2024/10/04 20:44:58
镀膜机抽高真空抽不下去,不漏气,扩散泵刚换的油,是哪里的问题,
有的时候新扩散泵油需要多用几次真空度才会有所提高.
检查一下新加的扩散泵油油量和型号与所用扩散泵是否相符.
检查一下高真空规管是否被油蒸汽污染(换一只新规管试一下)以及规管连线部分是否正常.
检查一下前级真空(低真空)真空度是否正常.
检查一下被抽系统内壁是否有污染物附着(例如油蒸汽).

如果都没有问题,那么就只能重新对系统进行检漏了.

再问: 是漏气! 晚上发现了,很隐蔽的位置!当时没注意,谢谢啦