作业帮N型单晶硅制备过程中的电阻控制,尤其是高阻的电阻控制,
来源：学生作业帮 编辑：作业帮 分类：物理作业 时间：2024/11/09 05:58:14
N型单晶硅制备过程中的电阻控制,尤其是高阻的电阻控制,
由于N型单晶大多是掺磷的,但是磷具有很强的挥发性,所以电阻很不好控制.
目前国内大多采用引径前复测电阻的方式确保头部高阻部分的准确,对于尾部电阻的控制,这要看合同的要求,按照N型头尾电阻之比,既然总工能接这样的合同,一般情况下,一次引放,整根拉直完成的话,基本能符合要求.如果运行时间长,不能成晶就要复测电阻.
总之一句话,多测几次,如果是实验拉直,不妨在固定的阶段和时间点测电阻,就可以凭经验把握电阻率的变化了.
再问： 你好，感觉你的回答在卖关子，你说的这些都是套话啊，没有实质意义，并且我也懂，但是你忽略了时间问题，就是引晶前测电阻至等径开始，挥发同样存在，所以还是希望能提供实质解决办法。谢谢
再答： 呵呵，实践是检验真理的唯一标准。其实大家的理论否差不多，重要的是经验，有条件你就试，只有自己的一手数据才是直接的。 如果一次引放成功，它的挥发量几乎没有影响，如果引放时间超过3h，一般也就引放2次，建议测提出来的渣盖。如果大于6h，一般引放也就4次，需要放单晶的盖子进行复测。 磷是挥发很强，但是毕竟炉内是真空啊，电阻的变化率也没有你想象的那么厉害，理论上N型头尾电阻之比1：3.8;考虑挥发，一般n型的头尾电阻之比大概是1:7.5左右。当然与时间也有关系。 举个例子吧，如果合同要求电阻1-10，就敢接。 还有，如果你真的做了实验的话，就会发现，横向电阻均匀性、寿命的控制才是难点、。 我也是半斤八两，误见效。
再问： 看来都是同行，目前电阻均匀性及少子寿命的控制，对我已经不是难题，我是搞技术的。 N型20Ω以内的头部电阻控制，对我也不是难题；目前对N型高阻的控制，我还没有搞定，就比如说50-20的产品，头部电阻随机性很大，总是在50-45之间波动，因为分凝原理，所以会影响拉晶长度，所以我的问题其实就是，针对高阻产品的拉制，头部电阻的控制，我希望控制在2-3范围内，即50±2以内的方法。
再答： 看来您是专家，您的问题我是没办法解答了，因为你说的确实是个难点，我们现在有一个专门的团队在主要攻克N型的问题，改天我给你问问去... 我也是做技术。 您是哪家公司？方便透露否？
再问： 隆基，知道不
再答： 银川隆基还是宁夏隆基 白喜军还是李迎春
再问： 呵呵，看来这两位的知名度很大啊，您是？
再答： 不是？ 那是苏波？ 周锐？ 半导体还是研究室？？ 嘿嘿，不告诉你。、 采纳吧
再问： 你都离开这个行业了，还装啥，我都忍不住了。
再答： 阿斌.........
再问： 你可以把技术部的人全部猜一遍
再答： 不说了 ，赶紧给个最佳，外加100分！
目前国内大多采用引径前复测电阻的方式确保头部高阻部分的准确,对于尾部电阻的控制,这要看合同的要求,按照N型头尾电阻之比,既然总工能接这样的合同,一般情况下,一次引放,整根拉直完成的话,基本能符合要求.如果运行时间长,不能成晶就要复测电阻.
总之一句话,多测几次,如果是实验拉直,不妨在固定的阶段和时间点测电阻,就可以凭经验把握电阻率的变化了.
再问： 你好，感觉你的回答在卖关子，你说的这些都是套话啊，没有实质意义，并且我也懂，但是你忽略了时间问题，就是引晶前测电阻至等径开始，挥发同样存在，所以还是希望能提供实质解决办法。谢谢
再答： 呵呵，实践是检验真理的唯一标准。其实大家的理论否差不多，重要的是经验，有条件你就试，只有自己的一手数据才是直接的。 如果一次引放成功，它的挥发量几乎没有影响，如果引放时间超过3h，一般也就引放2次，建议测提出来的渣盖。如果大于6h，一般引放也就4次，需要放单晶的盖子进行复测。 磷是挥发很强，但是毕竟炉内是真空啊，电阻的变化率也没有你想象的那么厉害，理论上N型头尾电阻之比1：3.8;考虑挥发，一般n型的头尾电阻之比大概是1:7.5左右。当然与时间也有关系。 举个例子吧，如果合同要求电阻1-10，就敢接。 还有，如果你真的做了实验的话，就会发现，横向电阻均匀性、寿命的控制才是难点、。 我也是半斤八两，误见效。
再问： 看来都是同行，目前电阻均匀性及少子寿命的控制，对我已经不是难题，我是搞技术的。 N型20Ω以内的头部电阻控制，对我也不是难题；目前对N型高阻的控制，我还没有搞定，就比如说50-20的产品，头部电阻随机性很大，总是在50-45之间波动，因为分凝原理，所以会影响拉晶长度，所以我的问题其实就是，针对高阻产品的拉制，头部电阻的控制，我希望控制在2-3范围内，即50±2以内的方法。
再答： 看来您是专家，您的问题我是没办法解答了，因为你说的确实是个难点，我们现在有一个专门的团队在主要攻克N型的问题，改天我给你问问去... 我也是做技术。 您是哪家公司？方便透露否？
再问： 隆基，知道不
再答： 银川隆基还是宁夏隆基 白喜军还是李迎春
再问： 呵呵，看来这两位的知名度很大啊，您是？
再答： 不是？ 那是苏波？ 周锐？ 半导体还是研究室？？ 嘿嘿，不告诉你。、 采纳吧
再问： 你都离开这个行业了，还装啥，我都忍不住了。
再答： 阿斌.........
再问： 你可以把技术部的人全部猜一遍
再答： 不说了 ，赶紧给个最佳，外加100分！