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如何用PVD法或等离子体增强PVD法镀厚硅膜?
来源:学生作业帮 编辑:
作业帮
分类:
综合作业
时间:2024/10/05 09:51:57
如何用PVD法或等离子体增强PVD法镀厚硅膜?
注:厚度超过50微米,还要考虑内应力和热应力,进行应力设计.
直接渡就OK
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