怎么提高单晶硅用石英坩埚透明层的质量

来源：学生作业帮编辑：作业帮分类：综合作业时间：2024/11/06 09:59:00

怎么提高单晶硅用石英坩埚透明层的质量

首先你不是隆基的员工吧
单晶硅用石英坩埚一般分为3层：最外层气泡密集区,中间透明层（理想的是无气泡的）,最里层涂层.
透明层质量越高,也就是气泡越少,厚度越均匀,R处的厚度越厚,在拉直单晶中：1.隔绝了气泡层的气泡进入溶硅中,2,透明层本省不会有有气泡炸裂带入微小的二氧化硅颗粒.气泡炸裂进入溶硅最直接的影响就是单晶鼓掉,其次就是氧含量增加
要提高石英坩埚透明层的质量三点：1：用好的原料,目前都是美国垄断,尤尼明的石英砂.
2.真空电弧法生产时的炉内真空度和高纯卫生,这点很重要,在好料给你工艺细节不注意也是白搭.
3.生产工艺流程和温度等,这些就是工艺细节了,比如温度啊,冷却时间啊...

在设备一定,工艺一定的条件下,想提高坩埚透明层质量：用好料,注意高纯卫生和真空度!
再问：你说的是隆基硅材料吗？哈哈有听说过。
再答：是的，那你是那个单位的？？上面给忘了说了，还有一点就是透明层气泡的大小、和分布均匀性的控制，这个和这个设备的性能（尤其是真空系统）及工艺流程（主要是加热时间、温度和冷却温度、时间）有很大的关系。可以将石英坩埚的横向切片放在8倍以上的放大镜下看，好坏特别容易分辨。
再问：你是隆基硅材料的员工吧？

怎么提高单晶硅用石英坩埚透明层的质量为什么直拉单晶硅要用石英坩埚+石墨坩埚单晶硅石英坩埚喷涂是热涂好还是冷涂好呢? 目前直拉单晶硅用石英坩埚助于采用钡涂层,但该镀层与熔硅反应造成氧含量升高,怎么解决为什么单晶硅用石英坩埚涂氢氧化钡多晶硅用石英坩埚涂氮化硅?两种不能互换吗?会有什么后果? 石英坩埚是干什么的可以融化烧碱的坩埚：是氧化铝坩埚,铁坩埚,镁坩埚还是石英坩埚中国在直拉单晶硅方面为什么一上来就直接选用石英坩埚拉单晶硅过程中对石英坩埚(22寸)侵蚀量大概多少? 熔炼多晶硅用的石英坩埚的原材料为什么要用融石英?而不是直接用石英砂? 刚玉坩埚和石英坩埚的主要应用什么区别? 谁有石英坩埚的联系厂商