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PECVD镀膜机一般抽到多少真空度
来源:学生作业帮 编辑:
作业帮
分类:
综合作业
时间:2024/10/06 22:01:30
PECVD镀膜机一般抽到多少真空度
一般抽到5*10-4充氮气洗一遍再充氮气洗一遍,一共洗两遍,然后再用氢气洗,之后就是成膜工艺气体配比充.
再问: 谢谢你的帮助,想问下哪里可以弄到相关的资料,感激不尽。
再答: 具体工艺复杂了去了,书上说的都没用,必须得进行工艺摸索; 你要是只想要真空方面的书我建议你看薄膜技术手册,分上下册,清华出的,比较全, 你要是看基础的就看东北大学出的教材就成。
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